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EDX-7000 / 8000

Energy Dispersive X-ray Fluorescence Spectrometer
Energy Dispersive X-ray Fluorescence Spectrometer
EDX-7000/8000
에너지 분산형 형광 X 선 분석 장치 EDX-7000/8000은 고성능 SDD와 최적화된 하드웨어로 단시간에 초고감도 분석이 가능합니다. 고감도 반도체 검출기 장착으로 140eV이하로 에너지 분해능이 뛰어나며, 다른 원소와의 peak 중복이 감소되어 분석 신뢰성이 향상되었습니다. 액체질소를 사용 하지 않아 운영비가 거의 들지 않으며, 분말, 액체, 고체 등 다양한 형태의 샘플을 별도의 전처리 없이 바로 측정 가능합니다. 진공 및 He 치환기능이 있어 C부터 검출이 가능하며, turret 장착으로 최대 12개 시편까지 연속으로 측정 할 수 있습니다.
소개 동영상
X-ray 형광 분석기의 원리와 특징
■ X-ray 발생 원리
샘플 X 선관으로부터 X 선을 조사 할 때, 시료의 원자는 시료로부터 방출되는 고유 한 X-선을 발생시킵니다. 이러한 X-선은 “형광 X 선”으로 알려져 있으며, 그들 각각을 생성하는 소자의 특성 인 고유 파장과 에너지를 가지고있습니다. 따라서 정성 분석은 X 선의 파장을 조사함으로써 수행 될 수있으며 형광 X 선 강도는 농도의 함수이기 때문에, 정량 분석​​은 각 요소에 특정 파장에서 X 선의 양을 측정함으로써 가능합니다.



전기/전자 – RoHS 규제, 할로겐 등의 심사 분석
– 반도체, 디스크, 액정 및 태양 전지 박막 분석
화학공업 – 무기 · 유기 원료 및 제품 분석
– 촉매, 안료, 페인트, 고무, 플라스틱의 분석칩
자동차/기계 – ELV 규제 심사 분석
– 각종 기계 부품의 조성 분석 및
도금 두께 화성 피막 부착량 측정
환경 – 혈액, 동물, 식물, 의약품, 식품
철강/비철 – 원재료, 합금, 땜납, 귀금속의 주성분 불순물 분석
– 슬래그의 조성 분석
의약 – 금속, 광물, 유리, 세라믹, IC 칩
광업 – 선광 공정의 품위 판별 분석 농업/식품 – 토양, 비료, 식물의 분석식품의 원료 분석
– 첨가 원소의 관리 혼입 이물의 분석
요업 – 세라믹, 시멘트, 유리, 벽돌, 점토 분석 기타 – 고고학 시료와 보석의 성분 분석
– 완구 · 일 용품 중의 유해 중금속 측정 등
석유/석유화학 – 오일 속의 유황 분석
– 윤활유 중의 각종 첨가 원소 및 혼입 원소 분석
   
기능적인 디자인
■ 소형 풋 프린트와 대형 샘플 챔버
460mm 폭의 컴팩트 한 바디 사이즈로 설치 폭을 기존 모델보다 20 % 감소했습니다. 또한 차체 크기는 컴팩트도 최대 300 (W) × 275 (D) × 100 (H) mm까지의 대형 시료를 넣을 수 있습니다.



■ 가시성이 높은 LED 램프
X 선 발생시 장비 후면의 X 선 표시 등 및 전면의 X-RAYS ON 램프가 켜집니다. 분석 중에 X 선 표시등의 양쪽에 파란 불이 떨어진 장소에서도 장비 상태를 한눈에 알 수있게되어 있습니다.


PCEDX Navi Software을 사용한 쉬운 작동법

X-Ray 분석을보다 친밀한 것으로하기 위해 태어난 것이 쉽게 분석 소프트웨어 PCEDX Navi입니다. 직관적인 조작을 가능하게하는 간단하고 정교한 화면은 초보자부터 전문가까지 모든 분들에게 쾌적한 작업 환경을 제공합니다.
Energy Dispersive X-ray Fluorescence Spectrometer
탁월한 분석 성능
고성능 SDD 검출기를 탑재하고, 하드웨어를 최적화함으로써, 지금까지없는 고감도 · 고속 분석 및 높은 에너지 분해능을 실현했습니다. 6 C ~ 검색이 가능한 모델도 라인업하고 있습니다 (EDX-8000)
고감도 – 검출 한계 1.5 ~ 5 배 향상
고성능 SDD 검출기와 최적화 된 광학계와 차 필터의 조합으로 지금까지없는 고감도 분석을 실현했습니다. 가벼운 원소에서 무거운 원소까지 모든 범위에 걸쳐 기존의 Si (Li) 반도체 검출기를 탑재 한 장비보다 고감도입니다.


고속 – 처리량 최대 약 10 배
SDD 검출기는 단위 시간당 계산할 수 형광 X 선 수가 많기 때문에 (고 계수율) 더 짧은 측정 시간으로 정밀 분석이 가능합니다. 특히 금속 등 주성분 원소에서 형광 X 선이 많이 발생하는 시료의 분석에 있어서는 특성을 최대한으로 발휘됩니다.


고분해능




Si (Li) 반도체 검출기를 탑재 한 기존의 장비에 비해 에너지 분해능이 우수합니다. 다른 원소에 의한 피크 겹침의 영향을 줄일 수 분석 결과의 신뢰성이 향상됩니다.
액체 질소 불필요
SDD 검출기는 전자 냉각 방식이기 때문에 액체 질소에 의한 냉각이 필요 없습니다. 번거로운 액체 질소 보충 작업에서 해방되는 동시에, 운영 비용의 절감에도 기여합니다.
■ 검출 원소 범위

※ EDX-7000에서 15 P 이하의 경 원소 분석을하려면 진공 측정 장치 또는 헬륨 대체 측정 단위 (모두 옵션)가 필요합니다. ※ EDX-8000 15 P 이하의 경 원소 분석을하려면 진공 측정 장치 (옵션)가 필요합니다.
※ 검출 한계는 시료 매트릭스와 공존 원소에 따라 다릅니다.

EDX-8000에 의한 초 경 원소 분석


EDX-8000은 창재에 초박막 특수 소재를 사용하여 SDD 검출기를 탑재하고 있으며, 탄소 (C), 산소 (O), 불소 (F) 등의 초경 원소의 검출이 가능합니다.
Energy Dispersive X-ray Fluorescence Spectrometer
기본 사양
샘플사이즈 11Na~92U (EDX-7000), 6C~92U (EDX-8000)
Background 보정 300(W) X 275(D) X 약 100(H)mm
검출기 100(H)mm 검출기
측정분위기 대기, 진공(옵션), 헬륨(옵션 7000모델)
측정 원리 형광 X 선 분석법
측정 방법 에너지 분산 형
측정 대상 고체 · 액체 · 분말
측정 범위 11 Na ~ 92 U (EDX-7000) 6 C ~ 92 U (EDX-8000)
시료 실 치수 최대 300 (W) × 275 (D) × 100 (H) mm (단 R 부는 제외)
최대 시료 질량 5kg (터렛 사용시 200g / 시료 총 질량 2.4kg)
X 선관 Rh 대상
전압 4 ~ 50kV
전류 1 ~ 1000μA
냉각 방식 공냉 (팬 포함)
조사 면적 1,3,5,10mmφ : 4 종 자동 교체
1 차 필터 5 종 (OPEN 포함 6 종) 자동 교환

검출기
모델 실리콘 드리프트 검출기 (SDD)
액체 질소 공급 불필요 (전자 냉각)

샘플 주입구
측정 분위기 대기, 진공 ※ 1 헬륨 ※ 2
시료 교환 12 시료 터렛 ※ 1
시료 관찰 CMOS 카메라

데이터 처리부
메모리 2GB 이상 (32 비트), 4GB 이상 (64 비트)
HDD 250GB 이상
광학 드라이브 슈퍼 멀티 드라이브
OS Windows7 (32 비트 / 64 비트) ※ 3

소프트웨어
정성 분석 측정 및 분석 소프트웨어
정량 분석 검량선 법 공존 원소 보정 
FP 법, 박막 FP 법 배경 FP 법
매칭 소프트웨어 강도 / 함량
유틸리티 자동 교정 기능 (에너지 교정 반치폭 교정)
장비 상태 모니터링 기능  
분석 결과 도표화 기능  

설치 정보
온도 10 ~ 30 ℃ (온도 변화 2 ℃ / hr 이내, 온도 변동폭 10 ℃ 이하)
상대 습도 40 ~ 70 % (단, 결로하지 않을 것)
전원 AC100V ± 10 %, 15A 접지 콘센트
본체 크기 460 (W) × 590 (D) × 360 (H) mm
본체 무게 약 45kg

설치 사이즈
4 종 콜리메이터 및 시료 관찰 카메라
■ 1,3,5,10mmΦ의 4 단계를 자동 전환


시료 크기에 따라 조사 지름을 4 단계로 전환 할 수 있습니다. 미소 이물 분석 및 불량 분석 1mmΦ 소량 시료는 3mmΦ과 5mmΦ과 시료 모양에 맞게 최적의 조사 지름을 선택하실 수 있습니다. 시료 관찰 카메라도 내장 시료 관찰 카메라를 통해 X 선 조사 위치 확인이 가능합니다. 미소 시료를 측정하거나 여러 부위로 구성된 시료의 특정 부분에 X 선을 조사하고 싶은 경우, 또는 미량 시료 용기를 사용하는 경우 등에 유효합니다.


5 종 필터 자동 교환
차 필터를 사용하여 X 선관에서의 특성 X 선이나 연속 X 선을 감소시킴으로써 검출 감도가 향상됩니다. 미량 원소를 분석 할 때 유용합니다. EDX-7000 / 8000은 5 종 (OPEN 포함 6 종)의 일차 필터를 표준으로 탑재하고 있으며, 소프트웨어에서 자동 교환이 가능합니다.
필터 유효한 에너지 (keV) 대상 원소 예
# 1  15 ~ 24  Zr, Mo, Ru, Rh, Cd
# 2  2 ~ 5  Cl, Cr
# 3  5 ~ 7  Cr
# 4  5 ~ 13  Hg, Pb, Br
# 5  21 ~ 24 (5 ~ 13) *  Cd (Hg, Pb, Br)
※ 필터를 사용하면 ()의 에너지 범위의 배경도 줄일 수 있습니다.

1차 필터의 효과

진공 측정 장치 (옵션)
가벼운 원소에서 발생하는 형광 X 선은 공기 분위기 하에서 흡수를 받기 쉽기 때문에 진공 분위기함으로써 가벼운 원소의 고감도 화를 꾀할 수 있습니다.
헬륨 대체 측정 장치 (옵션)
진공 분위기와 대기 분위기의 프로필 비교 (시료 : 소다 석회 유리)
액체나 가스를 발생하는 등 진공 분위기로 할 수없는 시료에 포함 된 경 원소 분석에는 헬륨 치환이 유효합니다. 고효율 헬륨 가스 치환을 실시 자체 시스템을 채용 (특허 출원 중) 감도를 악화시키지 않고 퍼지 시간과 헬륨 가스 소비량 함께 기존 대비 약 40 % 감소했습니다. (EDX-7000 용)
12 시료 터렛 (옵션)

헬륨 대체 및 대기 분위기의 프로필 비교
(시료 : 오일 황)
터렛을 추가하면 자동 연속 측정이 가능합니다. 특히 진공 헬륨 분위기에서 측정 할 경우 처리량 향상에 효과적입니다.