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EPMA-8050G

Electron Probe Microanalyzer

Electron Probe Microanalyzer
EPMA-8050G Series

전자현미분석기
이전 모델에서 고감도와 뛰어난 조작성을 유지하며, 최신의 field emission(FE)전자 광학 시스템을 채용, take off angle 52.5˚를 유지, 4인치 X-선 분광기를 최대 5대까지 탑재할 수 있도록 하여 민감도와 공간 해상도를 세계최고 수준으로 한층더 업그레이드 하였습니다. 결과적으로 기존에 분석이 어려웠던 직경 50 nm의 입자까지 관찰이 가능합니다. 분석 초보자도 쉽게 조작이 가능 하도록 인터페이스가 개선되어 SEM 영상검색 부터 보고서 생성, 프로세스 자동화 모드를 지원합니다.

Electron Probe Microanalyzer
제품 사양

전자원 Schottky emitter
이차전자분해능 3 nm (30 kV accelerating voltage)
분석원소 4Be~92U
분해능 1 μm