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OLS4100

3D measuring laser microscope

3D measuring laser microscope
OLS4100

3D 측정 레이저 현미경
시료 표면의 미세 형상을 비파괴로 관찰·측정하는 고해상도 현미경으로 전용 대물 렌즈와 전용 광학계에 의해 급경사부 형상과 반사율이 다른 재료 등에서도 확실하게 측정 가능합니다. 또한 접촉식 표면조도 측정기와 호환되는 표면조도 모드를 탑재하고 있습니다. 프로브 현미경 기능을 통합한 SFT-4500의 업그레이드도 가능합니다.

3D measuring laser microscope
제품 사양

광원 405 nm 반도체 레이저/백색 LED
검경법 공초점 레이저, 공초점 레이저 미분 간섭, 컬러(밝은 시야), HDR, 미분 간섭, 간이 편향
종합배율 108~17,280 배 (모니터 배율)
평면분해능 0.12 μm