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SolidSpec-3700/3700DUV

UV-VIS Spectrophotometers(UV-VIS)

UV-VIS Spectrophotometers(UV-VIS)
SolidSpec-3700 / 3700DUV

광학, 반도체 및 FPD 애플리케이션을위한 솔루션 – 시마즈 UV-VIS-NIR 분광 광도계

SolidSpec-3700 / 3700DUV는 고감도, 단파장 측정 능력 초대형 시료 실,을 겸비한 최고급 분광 광도계입니다. 적분구 표준탑재 모델로서 3종류의 검출기-광전자 증배관(자외선/가시광선용), InGaAs검출기(근적외선용), 냉각 PbS검출기(근적외선용)가 탑재되어 있어, 근적외선 영역에서 세계최고수준의 고감도를 실현했습니다. 설치 가능한 시료의 최대의 크기는 700× 560×40 mm로, 독창적인 3차원 광학계(특허출원 중)를 통해서 대형시료를 수평상태에서 투과/반사 측정을 할 수 있습니다.

제품 특징 1

광학, 반도체 및 FPD 애플리케이션에서 다음과 같은 요구 사항에 응답합니다.

■ FPD
NIR의 고감도 측정과 물질 평가 용 대형 시료 실

■ 반도체
단파장 레이저에 따른 깊은 UV 측정하고, 12 인치 웨이퍼 표면 전체 측정

■ 광통신
NIR에서의 반사 방지 필름의 고감도 측정

■ 광학
NIR에 깊은 UV에서 고감도 측정, 큰 샘플 실

제품 특징 2

■ 고감도 측정

– 세계 최초 3 검출기를 탑재 –
자외 · 가시 영역에 대해서는 PMT (광전자 증 배관), 근적외선 영역에 대해서는 InGaAs 검출기 냉각 PbS 검출기를 사용한 3 검출기 형으로, 근적외선 영역에서 세계 최고 수준의 고감도 측정을 실현했습니다.

■ 단파장 측정

– 최단 파장 165nm의 심자 외 영역을 측정 –
깊이 보라색 외광의 흡수가 적은 소재를 사용한 광원, 검출기 적분 구를 채용하고 또한 분광기 시료 실 등 모든 광로를 질소 제거함으로써 최대 165 ~ 3300nm (DUV 형에 옵션 사용시)의 넓은 파장 영역에서의 측정이 가능합니다.

■ 초대형 시료실

– 다양한 시료에 대응 –
3 차원 광학 (특허 출원 중)와 초대형 시료 실의 채용으로 최대 700 × 560mm의 대형 시료를 측정 할 수 있습니다. 또한 자동 XY 스테이지 (옵션)를 사용하여 질소 퍼지를 걸면서 최대 300 × 300mm 시료의 다점 자동 측정이 가능합니다.

■ 다양한 응용

가변 각도 절대 반사율 측정 장치 를 이용한 단결정 Si 태양 전지용 반사 방지막의 측정 실리콘 웨이퍼 경면 측정, 레이저 용 반사 방지막 및 고 반사막의 측정, 자동 XY 스테이지를 이용한 막 면내 투과율 분포 측정 깊이 자외선의 마스크 블랭크의 투과 측정 예

UV-VIS Spectrophotometers(UV-VIS)
SolidSpec-3700 / 3700DUV
항목 사양
측정 파장 3700: 240~2600nm(190~3300nm)주1
3700DUV: 175~2600NM(165~3300nm)주1

노이즈 0.0002 Abs 이하 (500nm), 0.00005Abs 이하(1500nm)
RMS value at 1s. response
분해능 0.1nm주1
미광 0.00008%이하 (220nm Nal)주1
분광기 2X2 grationg double monochromater